5微米狹縫主要應用于光譜儀器等，根據現代光譜儀器的工作原理,光譜儀可以分為兩大類:經典光譜儀和新型光譜儀。經典光譜儀器是建立在空間色散原理上的儀器；新型光譜儀器是建立在調制原理上的儀器。經典光譜儀器都是狹縫光譜儀器，調制光譜儀是非空間分光的，它采用圓孔進光。根據色散組件的分光原理,光譜儀器可分為:棱鏡光譜儀、衍射光柵光譜儀和干涉光譜儀等。

 5微米狹縫是指由一對隔板在光通路上形成的縫隙，用來調節入射單色光的純度和強度，也直接影響分辯力。出射狹縫的寬度通常有兩種表示方法：一為金屬5微米狹縫上狹縫的實際寬度以毫米表示，另一種為光譜頻帶寬度，即指由出射狹縫射出光束的光譜寬度也是以毫微米表示。例如，出射狹縫的寬度是6mm，并不是說出射狹縫的寬度是6mm，而是指由此狹縫射出的光具有6mm的光譜帶寬。純粹的單色光只是一種理想情況，分光光度計所能得到的“單色光”，實際上只是具有一定波長范圍的譜帶，狹縫越寬，所包括的波長范圍也愈寬。對單色光純度來說，狹縫是愈窄愈好，但光的強度也就越弱，因此狹縫不能無限制地小，狹縫的最小寬度取決于檢測器能準確地進行測量的最小光能量。目前達到的最小寬度為0.1nm。特定的波長要選擇對應的狹縫，狹縫對分辨率也有影響。狹縫片的制作工藝通常有化學蝕刻工藝和激光切割工藝兩種。但是大多數精密的光學儀器中使用的狹縫片通常都是采用化學蝕刻的工藝制作的，因為化學蝕刻的5微米狹縫縫口光滑沒有毛刺，蝕刻可以整版進行制作，化學蝕刻工藝制作的狹縫片的最小縫寬目前可以做到0.05mm，蝕刻后還可以整版進行狹縫片的黑化處理，處理后再一片一片的取下進行包裝出貨。另外一種加工工藝就是激光切割，激光切割工藝制作的狹縫片的最小縫寬也可以達到0.05mm，但是激光切割的狹縫片縫口會有激光燒結的殘留，縫口不夠光滑，所以通常用在精度要求不是很高的光學儀器上面。但是具體的價格激光切割和化學蝕刻加工都差不多。